单面涂布、下植入方式

涂布制程使用设备搭配耗材
①芯片导入→ 摇料盒、手动入料机、自动入料机 导引盘、载具(CP)
 ②芯片植入(凸出)→ 上植入压床 导引盘、载具(CP)、针床(上植入)、无孔板、冲针、(植入/转向)垫块
 ③涂布第一面→ LGTM-4000C沾银机(兼具整平功能)  
 ④烘干第一次→ 烤箱 储存箱
 ⑤芯片转向(凸出)→ 上植入压床 载具(CP)、转向板(+空CP*1)、针床(上植入)、无孔板、(植入/转向)垫块
 ⑥涂布第二面→ LGTM-4000C沾银机(兼具整平功能)  
 ⑦烘干第二次→  烤箱 储存箱
 ⑧卸料→ 上植入压床 针床(上植入)、卸料盘